超高精度壓力傳感器的響應(yīng)頻率取決于三個(gè)重要因素：1、傳感器的固有頻率。2、傳感器的封裝方式。3、變送電路的頻率響應(yīng)帶寬。
 

　　首先，傳感器的固有頻率是取決于傳感器敏感元的材料及結(jié)構(gòu)的物理特性，在傳感器芯片生產(chǎn)過(guò)程中已經(jīng)定型，無(wú)法通過(guò)后期的處理而改變，所以固有頻率一般只作為動(dòng)態(tài)壓力傳感器參數(shù)的一個(gè)物理性指標(biāo)，在傳感器的選型和應(yīng)用中沒(méi)有太大的實(shí)際意義。壓力傳感器采用德國(guó)進(jìn)口微機(jī)械加工技術(shù)的壓力敏感元件，具有*的固有頻率，(固有頻率可達(dá)1-2MHz)，產(chǎn)品的各項(xiàng)參數(shù)指標(biāo)均性能優(yōu)良。
 

　　其次，傳感器的封裝是決定傳感器響應(yīng)頻率的重要過(guò)程。相同固有頻率的傳感器芯片，采用不同的封裝方式，直接影響傳感器能夠使用的頻響范圍。壓力傳感器通常采用準(zhǔn)齊平封裝方式，盡可能的減小管腔效應(yīng)帶來(lái)的頻響損失，提高產(chǎn)品的頻率響應(yīng)。
 

　　第三，傳感器封裝完成，需要配合后續(xù)的采集設(shè)備，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)壓力的復(fù)現(xiàn)。由于傳感器本身輸出信號(hào)是幾十毫伏的非標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)，如果直接采集該信號(hào)，對(duì)后續(xù)的采集設(shè)備要求較高，而且小信號(hào)不利于長(zhǎng)距離傳輸，易受到外界環(huán)境的干擾，影響測(cè)量的真實(shí)性，所以通常會(huì)將幾十毫伏的微小信號(hào)經(jīng)過(guò)放大處理，轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的電壓信號(hào)。那么在這個(gè)轉(zhuǎn)換過(guò)程中就要求電路要有足夠高的響應(yīng)帶寬，足夠短的上升時(shí)間，才能不失真的復(fù)現(xiàn)壓力變化過(guò)程。